Page 8 - 南科簡訊 281 期 ( 2022 年 06 月 )
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南科焦點 Newsletter
台積電落實水循環管理
創造綠色永續園區
TSMC’s Integrated Water Circulation Management System in
the Green and Sustainable STSP
水の循環管理実行で、TSMC がグリーン永続パークを創造
文、圖 / 台灣積體電路製造股份有限公司
台積公司透過分類進行廢水回收再利用，並藉由偵測儀自動管理 台積公司「液」中求「銅」– 硫酸銅廢液再生系統再創廢棄物新價值
綠色製造是台積公司永續經營的基石，秉持企 台積公司持續投資創新的水污染預防措施，針
業成長與生態環境共榮的信念，厚植綠色管理於日 對製程中含氫氟酸的有機廢水，透過源頭分流追蹤
常營運，落實水資源風險管理、拓展多元水資源、 改善機台排放參數，同時打造專屬的生物薄膜處理
開發防治技術等三大策略，搭建出台積公司完善的 系統，2021 年晶圓十八廠將重要的水質檢測項目─
水循環管理。 化學需氧量指標（Chemical Oxygen Demand, COD）
納管平均濃度從 150ppm 有效降至 120ppm。
南科園區內的晶圓六廠及晶圓十四廠於 2019 年
獲得AWS (Alliance for Water Stewardship) 白金級認證， 台積公司更領先業界推出「液」中求「銅」再
成為全球首先獲得白金認證的半導體企業，透過強 生系統、打造螢火蟲高科技綠色廠房、開發綠能智
化廠區用水效率，實踐永續水資源管理。 慧水閘門，提升農業灌溉效率等技術，堅持以綠色
力量創造科技與生態共存的綠色永續園區。
為拓展多元水資源，台積公司自 2015 年起積
極發展再生水技術，自產所得之再生水不僅達到半
導體製程用水標準，排放水質亦符合法規放流規
定。2020 年台積公司與南科管理局簽約，興建「台
積電南科再生水廠」，導入工業再生水做為台積公
司晶圓製程用水，預計於 2023 年每日供給 2 萬噸
再生水。
台積公司開發氫氟酸廢水生物薄膜處理系統
05 Southern Taiwan Science Park
