Page 6 - 南科簡訊314期
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Atomic Precision Joins Southern Taiwan Science Park
原子精製社が南部サイエンスパークに参入
文 ‧ 圖─投資組 / 吳信翰
原子精製
今年開春即有新夥伴核准加入南科
堅強陣容，截至 2 月 26 日止，計引進 2
家廠商，累計投資金額為新臺幣 20.5 億
元，目前園區有效核准廠商家數為 284
家。
原子精製股份有限公司申請於臺
南園區投資設立，投資金額為新臺幣
0.5 億元，該公司專注於原子層沉積
原子精製公司
（Atomic Layer Deposition, ALD）設
產品－多片式
備及真空鍍膜設備開發，產品可應用於 機型
半導體、光電與先進封裝等產業。
原子精製公司
產品－單片型
ALD 設備
為因應市場對高效能、低成本製程設 原子精製表示，未來進駐臺南園區
備的產業需求，原子精製持續提升多片 後，將持續開發先進製程技術與相關設
式 ALD 設備量產能力，並透過 (Hollow 備，並提前布局半導體與光電領域高端應
Cathode Discharge, HCD) 電漿技術與氣 用，透過與產業鏈夥伴的深度合作，共同
旋式前驅物注入等技術，突破傳統鍍膜設 培育國際級技術人才，以迎接全球市場的
備的技術瓶頸，達成 ALD 大面積化成效。 快速成長與競爭挑戰。
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